Simulation von Clustertools in der Halbleiterfertigung

Clustertools werden in der Halbleiterindustrie eingesetzt bei der Herstellung von integrierten Schaltungen auf Siliziumscheiben (Wafern). Ein Clustertool besteht aus mehreren Prozesskammern, in denen jeweils ein Prozessschritt an einem Wafer durchgeführt werden kann. Dabei kann ein Wafer mehrere Kammern nacheinander durchlaufen, und für einen Prozessschritt können mehrere identische Kammern vorhanden sein. Zwischen den Kammern werden die Wafer von Robotern transportiert. Der Autor Matthias Becker hat in seiner Master's Thesis einen Simulator entwickelt, der den Fluss der Wafer durch ein Clustertool nachvollzieht. Schwerpunkte dieser Arbeit sind die Vermeidung von Deadlocks und eine begrenzte Vorausschau für Transporte. Steuerungsregeln für die parallele Bearbeitung von Wafern verschiedener Lose werden entwickelt und deren Leistungsfähigkeit analysiert. Die Clustertool-Simulation ist mit einer Schnittstelle zu einer Simulation einer ganzen Halbleiter-Fabrik ausgestattet, deren Funktionalität erprobt wird. Das Buch richtet sich sowohl an Informatiker als auch an Ingenieure (insbesondere im Industrial Engineering), die in der Halbleiterfertigung arbeiten.